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微量窒素計 PES-050
微量窒素計 PES-050
本分析計は高純度アルゴンガス中の微量窒素ガス濃度を連続的に測定する装置です。
製品分類
使用用途
メーカー
化学製品
,
半導体
(株)ジェイ・サイエンス・ラボ
微量窒素計 PES-050の特徴
アルゴンガス中の不純物である微量な窒素ガスの濃度を連続的に測定できる窒素計
前処理が不要で、試料を直接導入して測定可能
デッドスペースを極力小さくするなどの工夫で、素早い応答速度を実現
アルゴンガス充填施設のエア漏れ込みチェック用に適しており、アルゴンガス供給配管設備のリークチェック用にも使用可能
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